簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果：共2筆資料 檢索策略： "Lithography".ekeyword (精準) and ckeyword.raw="浸潤式微影"


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    非接觸浸潤式無光罩微影系統研發
    • 機械工程系 /97/ 碩士
    • 研究生： 藍國瑋   指導教授： 鄭正元
    • 本研究應用浸潤式微影概念於先前實驗室研發設計的顯微鏡式DMD(Digital Micromirror Device)無光罩微影系統(Maskless Photolithography System)…
    • 點閱：181  下載：11 

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    投影式微影之光源模態最佳化研究
    • 自動化及控制研究所 /102/ 碩士
    • 研究生： 吳韋辰   指導教授： 郭鴻飛
    • 微影製程有兩項重要指標，一能將光罩圖案潛像(Aerial Image)正確的轉移至光阻基材上，二提供足夠製程視窗(Process Window)以供應穩定的製程良率。本研究目的在針對投影式微影系統開…
    • 點閱：533  下載：33 
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